электронно-лучевая литография с растровым сканированием

elektronpluoštė rastrinė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. raster-scan electron-beam lithography vok. Rasterscan-Elektronenstrahllithografie, f rus. электронно-лучевая литография с растровым сканированием, f pranc. lithographie à faisceau d'électrons avec balayage de trame, f